名前	研究テーマ	研究概要
小林　尚幹	シリコンウェーハエッジの超音波援用研磨に関する研究	研磨パッドに超音波楕円微振動を付加し，シリコンウエハエッジ部の高能率高精度エコ研磨を試みる．
古屋　壮俊	MCF研磨液による金属表面の非接触研磨の基礎研究	磁場に反応する磁気複合流体に研磨粒子を混入したMCF研磨液を微細溝など複雑パターンを有する表面の非接触式研磨加工に応用したときの基礎特性を実験的に調査する．
松岡　那宜	超音波による高分子材料の新しい接合方法に関する研究	厚さ0.5mm以下の薄い板材を超音波振動子に固定し，その両側面に接合させたい材料を押し付け，板材の高周波振動で瞬間的に発生する摩擦熱によって接合を行う．